水和水蒸汽饱和状态表

喷射真空泵是利用流体传递能量和质量，本身没有运动部件，它是由喷咀、吸入室、扩压管三部分组成。具有一定压力的工作流体通过喷咀高速喷出，通过能量转换，在喷咀出口形成真空，从而将被抽介质吸引出来，二股介质在扩压管内进行混合及能量交换，最后以略高于大气压而排出。由于用水为工作介质受饱和蒸汽压力的限制，一级水喷射泵极限真空度较低，一般在-0.098MPa（真空绝压3066Pa)左右，如需更高的真空度，必须串联一级二级或三级蒸汽喷射真空泵，使得真空绝压可达200pa,100Pa,60Pa。如果串联一台或二台罗茨真空泵真空绝压可达150Pa和30Pa。

（请参考由中山大学提供的蒸汽喷射泵工作原理图）

二、机械真空泵系列

机械真空泵也是一种真空获得设备，它是靠机械传动产生真空，如W型是靠活塞在气缸内反复运动，2X是由偏心转子旋转，旋片在弹簧的压力及自身离心力的作用下，通过腔体内壁滑动产生真空。罗茨真空泵是靠两个转子旋转将气体排出产生真空，机械真空泵的优点是抽气量大，但也有缺点，不适应抽吸带有水蒸汽或腐蚀性的气体。我公司生产的机械泵型号有W、2X、2XZ、ZJ等系列产品。

（请参考由中山大学提供的

罗茨鼓风机工作原理图）

三、异型螺杆干式真空泵系列

异型螺杆干式真空泵是由两个水平螺旋转子，双非接触方式偶合旋转的结构组成。这一对螺旋转子与同步齿轮相连接，通过在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气，从而产生真空。异型螺杆干式真空泵广泛应用于电子、玻璃、零件加工、纺织、林业加工、冶金、太阳能、食品、医药、香精香料、生物技术等行业中的蒸发、干燥、脱臭、蒸馏、溶剂回收等工艺，极限真空可达1Pa